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一种基于球阀的遮盖式表面梯度薄膜制备装置，包括真空腔室以及设置在真空腔室内的基质和蒸发源结构，所述蒸发源结构位于所述基质的上方且通过固定机构悬置在真空腔室内；所述蒸发源结构包括坩埚蒸发装置、源材、球阀通量控制机构、元素扩散矫正通道和正电位电极，所述源材设置在所述坩埚蒸发装置内，所述坩埚蒸发装置的开口朝向基质的中心方向布置，所述球阀通量控制机构包括步进电机、球阀外壳、设置在球阀外壳内的中空挡环和用于中空挡环转动的挡环转轴。本发明提供了一种基于球阀的遮盖式表面梯度薄膜制备装置，对元素成分比例构成完全控制，能加快整个高通量实验的速度，节省人力物力，能够快速制备出组分连续渐变的多元梯度薄膜。

本发明公开了一种热分解薄膜制备装置，包括升降台和反应室，所述升降台上设喷雾模块，所述反应室内设加热模块，衬底置于该加热模块上；所述喷雾模块包括设于所述升降台上的安装底板，该安装底板上设缓冲腔，所述缓冲腔的进气口与至少一组雾化单元连通，所述缓冲腔的出气口与伸缩管连通，该伸缩管通过连接管与喷嘴连接，所述伸缩管、连接管和喷嘴伸入所述反应室内，该喷嘴位于所述衬底上方位置，所述安装底板朝向所述反应室的一侧设有向外延伸的连接支架，所述喷嘴转动连接在所述连接支架上。本装置既适合透明导电氧化物薄膜材料(单元、多元和多层膜结构)，也可用于其他适合用热分解方法制备的薄膜材料制备。