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| 专利/申请号： | CN202022050766.4 | 专利名称： | 尖峰退火加热装置及尖峰退火机台 |
| 申请日： | 2020-09-17 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-03-19 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN212750823U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 62 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型提供一种尖峰退火加热装置及尖峰退火机台，属于半导体技术领域。尖峰退火加热装置，包括：控温单元，以及与控温单元电连接的加热灯，控温单元用于控制加热灯的发热功率，控温单元与加热灯连接的电路上设置有电流传感器以及电压传感器，电流传感器用于检测加热灯的输入电流，电压传感器用于检测加热灯的输入电压。能够对加热灯进行实时检测，便于用户获取加热灯的使用状态(寿命状态)，从而及时更换加热灯，提高尖峰退火过程的连续性和稳定性。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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