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摘 要:本实用新型提供一种尖峰退火加热装置及尖峰退火机台,属于半导体技术领域。尖峰退火加热装置,包括:控温单元,以及与控温单元电连接的加热灯,控温单元用于控制加热灯的发热功率,控温单元与加热灯连接的电路上设置有电流传感器以及电压传感器,电流传感器用于检测加热灯的输入电流,电压传感器用于检测加热灯的输入电压。能够对加热灯进行实时检测,便于用户获取加热灯的使用状态(寿命状态),从而及时更换加热灯,提高尖峰退火过程的连续性和稳定性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022050766.4 | 专利名称: | 尖峰退火加热装置及尖峰退火机台 |
申请日: | 2020-09-17 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2021-03-19 | 转让价格: | 1800.0元 |
公开/公告号: | CN212750823U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |