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摘 要:本实用新型提供一种化学品混合装置,涉及半导体制程技术领域。化学品混合装置包括混合腔室、加热保温箱、化学瓶和气体输送管,其中,加热保温箱安装在混合腔室上;化学瓶设置在加热保温箱的内部,化学瓶用于盛放化学品;气体输送管设置在加热保温箱的内部,气体输送管的一端与化学瓶连通,气体输送管的另一端与混合腔室连通。该装置不仅可以隔绝大气环境对化学瓶和气体输送管的温度影响,还能够改善温度控制效果,而且,气体输送管的长度可以大大减短,减少了对化学瓶中化学品可能产生影响的不安定因素,也不会因为气体输送管的材质以及使用年限过久对工艺造成影响。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202120436063.7 | 专利名称: | 化学品混合装置 |
申请日: | 2021-02-26 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B01F15/00搜分类 化学化工搜索 |
公开/公告日: | 2021-11-02 | 转让价格: | 1800.0元 |
公开/公告号: | CN214553219U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |