实用新型已授权

真空室

Name: 真空室
Brand: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
SKU: 2021204446337
Price: 1500.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202120444633.7 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2021-03-01

公开号

CN215761149U

公开日

2022-02-08

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

E05F15_665

IPC 分类号

E05F15_665

技术画像

所属领域

真空技术真空技术真空设备密封技术

应用场景

半导体制造, 真空镀膜, 真空热处理, 真空包装, 科研实验

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摘要

本实用新型实施例提供一种真空室，涉及半导体制程技术领域。真空室包括框体、门板、传动组件、步进电机和控制器，框体内具有真空腔，框体的一侧开设有与真空腔连通的入口；门板滑动连接在入口；传动组件的一端连接到门板；步进电机连接在传动组件的另一端；控制器与步进电机电连接，控制器用于控制步进电机驱动门板打开或关闭入口。真空室能够通过步进电机精确控制门板开关的速度和位置，降低门板与框体的撞击力度，减少震动，减少颗粒杂质的产生，提高产品的良率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN215761149U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为 1500.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

连接夹具及磊晶生长装置

当前第 / 件

卡罗酸加热系统

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¥1500.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：34 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

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