实用新型已授权

真空室

📄 申请号：CN202120444633.7 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2021-03-01

公开号

CN215761149U

公开日

2022-02-08

申请人

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

E05F15_665

IPC 分类号

E05F15_665

技术画像

所属领域

真空技术真空技术真空设备密封技术

应用场景

半导体制造, 真空镀膜, 真空热处理, 真空包装, 科研实验

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摘要

本实用新型实施例提供一种真空室，涉及半导体制程技术领域。真空室包括框体、门板、传动组件、步进电机和控制器，框体内具有真空腔，框体的一侧开设有与真空腔连通的入口；门板滑动连接在入口；传动组件的一端连接到门板；步进电机连接在传动组件的另一端；控制器与步进电机电连接，控制器用于控制步进电机驱动门板打开或关闭入口。真空室能够通过步进电机精确控制门板开关的速度和位置，降低门板与框体的撞击力度，减少震动，减少颗粒杂质的产生，提高产品的良率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

连接夹具及磊晶生长装置

当前第 / 件

卡罗酸加热系统

同领域国内专利 · IPC: (E05F15_665)

E05F15_00 E05F15_40 E05F15_41 E05F15_42 E05F15_48 E05F15_49 E05F15_50 E05F15_53 E05F15_57 E05F15_60 E05F15_603 E05F15_605 E05F15_608 E05F15_611 E05F15_614 E05F15_616 E05F15_619 E05F15_622 E05F15_624 E05F15_627 E05F15_63 E05F15_635 E05F15_643 E05F15_652 E05F15_655 E05F15_665 E05F15_668 E05F15_67 E05F15_686 E05F15_689 E05F15_697 E05F15_70 E05F15_71 E05F15_72 E05F15_73 E05F15_74 E05F15_75 E05F15_77 E05F15_79 覆盖39个领域

¥1500.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：14 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

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