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| 专利/申请号: | CN202120444633.7 | 专利名称: | 真空室 | 
| 申请日: | 2021-03-01 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 | 
| 专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 | 
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | E05F15/665 分类检索 | 
| 公开/公告日: | 2022-02-08 | 转让价格: | 【平台担保交易】 | 
| 公开/公告号: | CN215761149U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | 
| 浏览量: | 25 | 所属领域: | 半导体专利转让搜索 | 
摘 要:本实用新型实施例提供一种真空室,涉及半导体制程技术领域。真空室包括框体、门板、传动组件、步进电机和控制器,框体内具有真空腔,框体的一侧开设有与真空腔连通的入口;门板滑动连接在入口;传动组件的一端连接到门板;步进电机连接在传动组件的另一端;控制器与步进电机电连接,控制器用于控制步进电机驱动门板打开或关闭入口。真空室能够通过步进电机精确控制门板开关的速度和位置,降低门板与框体的撞击力度,减少震动,减少颗粒杂质的产生,提高产品的良率。
| 交易方 | 企业 | 个人 | 
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) | 
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) | 
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) | 
| 日期 | 法律信息 | 备注 | 
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 | 
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