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摘 要:本申请公开了一种半导体器件及其制作方法,所述半导体器件包括:第一导体层,所述第一导体层包括至少一条第一走线;第二导体层,所述第二导体层包括至少一条第二走线;所述第一走线与所述第二走线交叉接触;绝缘层,所述绝缘层位于所述第二导体层背离所述第一导体层的一侧;通孔,所述通孔贯穿所述绝缘层,所述第一走线与所述第二走线的至少一个交叉位置上具有所述通孔;第三导体层,所述第三导体层位于所述绝缘层背离所述第一导体层与所述第二导体层的一侧。本发明方案通过在第一走线与第二走线的至少一个交叉位置上设置通孔,并将其余的通孔按照尽可能多的均匀分布,可以使得同层金属的连接性增加,提高可靠性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110281808.1 | 专利名称: | 半导体器件及其制作方法 |
申请日: | 2021-03-16 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L27/12搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2021-07-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113066799A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |