发明专利已授权

图像传感器及其形成方法和操作方法

📄 申请号：CN201911008796.4 📄 发布日：2025/09/08

著录项目信息

申请日

2019-10-23

公开号

CN110676276B

公开日

2021-07-23

申请人

淮安西德工业设计有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L27_146

IPC 分类号

H01L27_146

技术画像

所属领域

图像传感器图像传感器半导体器件半导体制造工艺

应用场景

消费电子, 安防监控, 自动驾驶, 医疗影像, 工业检测

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摘要

本公开涉及图像传感器及其形成方法和操作方法。图像传感器包括至少一个像素单元以及栅极结构，像素单元包括：设置在衬底中的有源区，所述有源区被隔离沟槽与用于相邻像素单元的有源区分隔开；第一浮置扩散区以及第二浮置扩散区；第一掺杂区，设置在有源区中在所述第一浮置扩散区以及第二浮置扩散区下方，并且所述第一掺杂区具有第一掺杂类型；第一沟道形成区，设置在第一浮置扩散区与第一掺杂区之间；第二沟道形成区，设置在第一浮置扩散区与第二浮置扩散区之间。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

隔离结构及其形成方法，图像传感器及其制造方法

当前第 / 件

侦测晶圆键合缺陷的方法和装置

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