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| 专利/申请号： | CN201810965371.1 | 专利名称： | 背照式图像传感器的形成方法 |
| 申请日： | 2018-08-23 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L27/146 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2019-01-11 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN109192741A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 6 | 所属领域： | 专利转让搜索 |
摘 要：一种背照式图像传感器的形成方法，包括：半导体衬底包括第一侧和与第一侧相对的第二侧；刻蚀第一侧的半导体衬底，在第一侧的半导体衬底中形成若干沟槽；在沟槽中形成含硼的硅玻璃层，含硼的硅玻璃层的表面低于第一侧的半导体衬底表面；进行退火工艺，使含硼的硅玻璃层中的硼离子扩散到相邻沟槽之间的半导体衬底中形成掺杂停止层；在沟槽中填充隔离材料，形成深沟槽隔离结构；在第一侧的半导体衬底上形成图像传感器的像素，所述像素感测从第二侧入射的光线；以掺杂停止层和含硼的硅玻璃层作为停止层，从半导体衬底的第二侧减薄半导体衬底；湿法刻蚀去除所述掺杂停止层和含硼的硅玻璃层。本发明方法工艺简单。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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