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摘 要:本实用新型公开了一种用于晶圆加工的固定工装,包括平台,所述平台的内部安装真空吸盘,所述平台的内部嵌入第一夹板,所述平台的内部嵌入第二夹板,所述第一夹板的内部螺纹连接双向丝杆,所述第二夹板的内部螺纹连接第一丝杆,所述双向丝杆和第一丝杆的外部均套接斜齿轮,所述平台的底部固定连接第一轴承座,所述双向丝杆通过轴承连接第一轴承座。该一种用于晶圆加工的固定工装,双向丝杆的转动通过斜齿轮带动第一丝杆同步转动,从而将第一夹板和第二夹板带动向中心靠拢,抵靠在晶圆的四周,在利用真空吸盘从底部对晶圆进行吸附固定,这样在固定晶圆后,避免晶圆的加工面有部分被遮挡不能有效加工的情况,使用时实用性更好。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202323434965.5 | 专利名称: | 一种用于晶圆加工的固定工装 |
申请日: | 2023-12-18 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/683搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 1950.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |