咨询电话：13280638997
传真：0533-3110363
邮箱：kefu@shizifang.com
24小时咨询热线13280638997
24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN202323434965.5 | 专利名称： | 一种用于晶圆加工的固定工装 |
| 申请日： | 2023-12-18 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/683 分类检索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
| 浏览量： | 78 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型公开了一种用于晶圆加工的固定工装，包括平台，所述平台的内部安装真空吸盘，所述平台的内部嵌入第一夹板，所述平台的内部嵌入第二夹板，所述第一夹板的内部螺纹连接双向丝杆，所述第二夹板的内部螺纹连接第一丝杆，所述双向丝杆和第一丝杆的外部均套接斜齿轮，所述平台的底部固定连接第一轴承座，所述双向丝杆通过轴承连接第一轴承座。该一种用于晶圆加工的固定工装，双向丝杆的转动通过斜齿轮带动第一丝杆同步转动，从而将第一夹板和第二夹板带动向中心靠拢，抵靠在晶圆的四周，在利用真空吸盘从底部对晶圆进行吸附固定，这样在固定晶圆后，避免晶圆的加工面有部分被遮挡不能有效加工的情况，使用时实用性更好。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
| 2025107400802 | 【发明】太阳能光伏电池板制作用硅片高效清洗设备 | 2025/10/29 |
| 2021111902856 | 【发明】一种用于光伏设备的检测装置及其检测方法 | 2025/10/28 |
| 2018116314717 | 【发明】一种二极管引脚的修整切裁装置 | 2025/10/24 |
| 2022112698269 | 【发明】一种用于承载硅片的石墨舟及其使用方法 | 2025/10/24 |
| 2021220232026 | 【实用新型】一种用于通讯设备半导体加工的夹持装置 | 2025/10/23 |
| 2022223274932 | 【实用新型】一种用于贴片机的防护装置 | 2025/10/23 |
| 2024226942713 | 【实用新型】QFN封装键合夹具 | 2025/10/20 |
| 2019105748651 | 【发明】一种离子检测器及其制备方法 | 2025/10/17 |
| 2019105742320 | 【发明】一种离子监控器及其制备方法 | 2025/10/17 |
| 2018106899620 | 【发明】具有温差发电机构的III-VHEMT器件的制备方法 | 2025/10/16 |
