发明专利已授权

一种化学气相沉积设备

📄 申请号：CN202210130187.1 📄 发布日：2025/11/10

著录项目信息

申请日

2022-02-11

公开号

CN114574836A

公开日

2022-06-03

申请人

李涛

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_44

IPC 分类号

C23C16_44 , C23C16_455 ,

技术画像

所属领域

化学气相沉积化学气相沉积薄膜沉积设备半导体制造设备

应用场景

半导体制造, 集成电路, 薄膜材料制备, 光伏电池, 光学涂层

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摘要

本发明涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种化学气相沉积设备，包括箱体、铰接在箱体上的箱盖、固定安装在箱盖上的进料口，所述箱体的内壁上固定安装有缓冲箱，所述进料口的底部与缓冲箱的上端连通，所述缓冲箱的内部固定安装有第一固定杆，所述第一固定杆的下端设有扇叶。本发明通过设置第一固定杆、扇叶、缓冲箱等机构，待沉积气体由进料口进入箱体内部，利用驱动设备带动扇叶旋转，旋转的扇叶在进料口处形成气流，加快待沉积气体进入缓冲箱的速度，待沉积气体通过通气孔扩散到缓冲箱的下端，使得待沉积气体均匀扩散到箱体内腔中。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种柴油机的油气混合结构

当前第 / 件

一种细菌自动接种仪

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_44)

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