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摘 要:本发明涉及化学气相沉积技术领域,具体为一种化学气相沉积设备,包括箱体、铰接在箱体上的箱盖、固定安装在箱盖上的进料口,所述箱体的内壁上固定安装有缓冲箱,所述进料口的底部与缓冲箱的上端连通,所述缓冲箱的内部固定安装有第一固定杆,所述第一固定杆的下端设有扇叶。本发明通过设置第一固定杆、扇叶、缓冲箱等机构,待沉积气体由进料口进入箱体内部,利用驱动设备带动扇叶旋转,旋转的扇叶在进料口处形成气流,加快待沉积气体进入缓冲箱的速度,待沉积气体通过通气孔扩散到缓冲箱的下端,使得待沉积气体均匀扩散到箱体内腔中。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210130187.1 | 专利名称: | 一种化学气相沉积设备 |
申请日: | 2022-02-11 | 申请/专利权人 | 李涛 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 北京市大兴区黄村海子角黄徐路东侧辛店小区A栋301室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C16/44搜分类 化学搜索 |
公开/公告日: | 2022-06-03 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN114574836A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |