专利名称：一种流化床气相沉积反应器      申请号：2021229507128     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：实用新型   关键词：化学气相沉积设备 材料科学与工程 纳米材料制备   相似专利 发布日：2025/09/08  

应用场景：半导体薄膜沉积;先进陶瓷涂层制造;催化剂载体生产;纳米粉末合成;功能梯度材料开发

专利名称：一种用于化学气相沉积设备的馈通装置      申请号：2019212281150     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：实用新型   关键词：化学化工 化学气相沉积设备   相似专利 发布日：2025/08/11  
摘要： 本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，且公开了一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，包括外筒，所述外筒的内壁套接有旋转筒，旋转旋转筒通过旋转筒上的圆形槽可以控制所有气体通道开启和闭合，外筒的外壁固定连接有底座，底座里设置有转动轮、内外圈和三角叶片，扭动旋转钮通过旋转杆的传递可以控制转动轮的转动，转动轮转动带动外圈转动，外圈转动又通过连接杆带动了三角叶片的闭合，三角叶片的闭合控制了内圈气体通道的闭合，从而达到了控制单个气体通道的目的，本实用新型结构简单，操作容易，通过底座部分和旋转筒部分，达到了有效控制馈通装置气体进入的效果，具有工作效率高、节约原材料等有益效果。

专利名称：一种化学气相沉积设备      申请号：2022101301871     转让价格：面议  收藏
法律状态：已下证   类型：发明   关键词：化学 化学气相沉积设备   相似专利 发布日：2025/07/11  
摘要： 本发明涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种化学气相沉积设备，包括箱体、铰接在箱体上的箱盖、固定安装在箱盖上的进料口，所述箱体的内壁上固定安装有缓冲箱，所述进料口的底部与缓冲箱的上端连通，所述缓冲箱的内部固定安装有第一固定杆，所述第一固定杆的下端设有扇叶。本发明通过设置第一固定杆、扇叶、缓冲箱等机构，待沉积气体由进料口进入箱体内部，利用驱动设备带动扇叶旋转，旋转的扇叶在进料口处形成气流，加快待沉积气体进入缓冲箱的速度，待沉积气体通过通气孔扩散到缓冲箱的下端，使得待沉积气体均匀扩散到箱体内腔中。