实用新型已授权

一种制备防结焦涂层的基片用装载工装

📄 申请号：CN202323175705.0 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2023-11-24

公开号

CN221544751U

公开日

2024-08-16

申请人

苏州钛阳新材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C16_00

IPC 分类号

C23C16_00 , C23C16_52 ,

技术画像

所属领域

工装夹具工装夹具涂层制备防结焦涂层

应用场景

涂层制备, 基片装载与固定, 防结焦涂层生产, 石油化工加热炉管, 乙烯裂解炉

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摘要

本实用新型公开了一种制备防结焦涂层的基片用装载工装，包括：支撑底座和设置在所述支撑底座顶部的翻转气缸，以及设置在所述翻转气缸顶部的装载组件；支撑底座固定在合适的位置后，通过推动气缸带动若干负压吸盘上升或下降至合适的装载高度，通过支撑块一侧装载板的若干负压吸盘对基片的吸附，可以对基片提供平稳可靠的装载条件，通过翻转气缸，可以将支撑块另一侧装载板上的若干负压吸盘调换在基片的上，完成调换后，已经吸附基片的若干负压吸盘将基片放下，未吸附基片的若干负压吸盘将基片吸附，往复此过程，可以高效的对基片完成装载工作，进而避免人工长时间装载工作造成的注意力不集中等情况的发生，提高了装置的可靠性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于涂覆防结焦涂层的夹持装置

当前第 / 件

一种双工位主轴夹

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