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摘 要:本实用新型属于晶圆测试设备的技术领域,公开了一种用于探针台的晶圆防滑出结构,其技术方案要点是包括锁定机构和解锁机构,锁定机构包括基座,基座上设有若干组锁定杆、齿轮、解锁杆和复位件,与框体上的沟槽分别对应,锁定杆和解锁杆均与框体的侧壁垂直,滑动设置在基座上,锁定杆和解锁杆分别设置在齿轮两侧,与齿轮啮合,且锁定杆一端穿入框体侧壁,并延伸至沟槽内,解锁机构包括楔块,楔块与机架固接,与上片机构齐平,楔块的上表面朝向框体倾斜设置,并与解锁杆背向框体的一端相抵,具有能够将与上片机构齐平的晶圆释放,不影响上片机构中的机械手吸取晶圆,同时将其它各层晶圆锁住,防止其从晶圆匣内滑出的效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201920882102.9 | 专利名称: | 一种用于探针台的晶圆防滑出结构 |
申请日: | 2019-06-12 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/66搜分类 电子设备和元器件搜索 |
公开/公告日: | 2019-12-24 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN209843668U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |