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摘 要:本实用新型公开了一种半导体制造设备,包括晶圆贴片机,所述晶圆贴片机的内部设置有电机,所述电机的输出端通过斜齿轮活动连接有蜗杆,所述蜗杆的表面啮合有蜗轮,所述蜗轮的内部固定连接有螺杆,所述蜗杆的底部通过轴承座与晶圆贴片机内壁的底部活动连接,所述螺杆的两侧通过轴承座与晶圆贴片机内壁的两侧活动连接。本实用新型通过启动电机,电机转动带动蜗杆转动,蜗杆转动带动蜗轮转动,蜗轮转动螺杆转动,螺杆转动带动螺套沿着稳定杆向内侧移动,同时支撑杆向内侧拉动,将支撑架沿着限位管上拉动,当支撑架离开地面,并且滚轮与地面接触时关闭电机,替代现有的移动方式,从而达到便于移动晶圆贴片机的效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202323545472.9 | 专利名称: | 一种半导体制造设备 |
申请日: | 2023-12-25 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |