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摘 要:本发明提供了一种半导体加工用固定装置,属于半导体加工技术领域,包括镀膜箱、传动组件、滑动座、第一驱动组件、第二驱动组件、夹持组件以及盛放板,所述镀膜箱一侧设有向内延伸的镀膜通道,所述滑动座在所述镀膜箱一侧呈相对分布设有两组,两组所述滑动座相对的一侧均安装有所述夹持组件,所述第一驱动组件安装在所述镀膜箱一侧,用于带动两组所述滑动座相向移动,以通过所述夹持组件对待镀膜半导体进行夹持固定。本发明实施例相较于现有技术,能够实现半导体的夹持固定以及自动镀膜,具有半导体夹持固定效果好、操作简单、镀膜方便快捷以及成本低廉的优点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202211036427.8 | 专利名称: | 一种半导体加工用固定装置 |
申请日: | 2022-08-29 | 申请/专利权人 | 山东芯恒光科技有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省枣庄市峄城经济开发区科达西路9号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/687搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2022-11-15 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN115116928B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |