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摘 要:本实用新型公开了新型高溅射率磁控旋转圆柱靶,涉及磁控旋转圆柱靶技术领域,为解决现有的磁控旋转圆柱靶的溅射性能还不够稳定,溅射效率不够高的问题。所述旋转圆柱靶的一端安装有侧边固定块,所述旋转圆柱靶的另一侧安装有连接传动套,所述连接传动套的另一侧安装有固定限位板,所述固定限位板的另一侧安装有固定腔体套,所述固定腔体套的另一侧安装有传动陶瓷轴承,所述传动陶瓷轴承的另一侧安装有部件安装架,所述部件安装架另一侧的上方安装有伺服电机,所述伺服电机的下方安装有电器工作箱,所述部件安装架的另一端设置有连接固定套,所述连接固定套的内侧安装有内部固定片。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202023320966.3 | 专利名称: | 新型高溅射率磁控旋转圆柱靶 |
申请日: | 2020-12-31 | 申请/专利权人 | 莱糸真空科技(常州)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省常州市新北区黄河西路388号—16 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 磁控搜索 |
公开/公告日: | 2021-09-17 | 转让价格: | 1600.0元 |
公开/公告号: | CN214218843U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |