发明专利已授权

含高低频双驱动单元的两转一移三自由度调姿隔振平台

📄 申请号：CN201710522123.5 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2017-06-30

公开号

CN107225562A

公开日

2017-10-03

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B25J9_00

IPC 分类号

B25J9_00 , B25H1_02 , B25H1_14 ,

技术画像

所属领域

振动隔离技术振动隔离技术并联机构精密驱动技术

应用场景

精密制造, 半导体装备, 光学平台, 精密测量, 航空航天地面测试

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摘要

一种含高低频双驱动单元的两转一移三自由度调姿隔振平台，其包括动平台、基架以及连接动平台和基架的三条结构相同的运动支链，三条运动支链在动平台和基架上均布；所述运动支链由高低频双驱动单元和传动三角单元串联组成，其中高低频双驱动单元与基架连接，传动三角单元的两端分别通过转动副和球副与高低频双驱动单元和动平台铰接。本发明为一种可实现两转一移、高低频混合输出形式的调姿隔振运动平台，可对外界多种形式的扰动进行有效的抑制，为精密仪器的正常工作提供一个稳定环境。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210108

✅ 授权

20171103

?? 实质审查的生效：

20171003

📄 公开

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