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本实用新型涉及隔振基座技术领域,具体为一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座,包括支撑板,支撑板下端设置有若干均匀分布的横梁柱,横梁柱上设置有若干均匀分布的支撑装置,支撑装置包括横撑杆、立柱和X型支架,立柱的上端端部开设有方形凹槽,横梁柱贯穿立柱的方形凹槽,立柱中嵌入有若干均匀分布的吸收装置,吸收装置包括定位座、牵制体、控制球、压力壳体和弹簧,本实用新型构造设计实现震动能量被若干吸收装置高效稳定的吸收,同时定位座的圆锥状设计不会影响立柱的支撑稳定性,这样避免震动通过基座影响到电子无尘室中的机器设备,对装置进行保护,提高无尘室的使用寿命。
📄 201921316492X 📂 F16M5_00 👤 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司 📅 2019-08-14
已申报项目
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一种含高低频双驱动单元的两转一移三自由度调姿隔振平台,其包括动平台、基架以及连接动平台和基架的三条结构相同的运动支链,三条运动支链在动平台和基架上均布;所述运动支链由高低频双驱动单元和传动三角单元串联组成,其中高低频双驱动单元与基架连接,传动三角单元的两端分别通过转动副和球副与高低频双驱动单元和动平台铰接。本发明为一种可实现两转一移、高低频混合输出形式的调姿隔振运动平台,可对外界多种形式的扰动进行有效的抑制,为精密仪器的正常工作提供一个稳定环境。
📄 2017105221235 📂 B25J9_00 👤 燕山大学 📅 2017-06-30
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实用新型 已授权

一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座

201921316492X · 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
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🔋 高能量密度固态电解质材料与制备工艺
预算:¥50-100万截止:2026-08-30发布方:××新能源科技响应:8人

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转让方:××大学
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交易类型:转让
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转让方:××半导体有限公司
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交易类型:转让
交易金额:¥680万
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转让方:××科技公司
受让方:××能源集团
交易类型:开放许可
交易金额:¥50万/年