发明专利已授权

一种阻挡元素扩散的中间层及其制备方法

📄 申请号：CN201510008773.9 📄 发布日：2026/08/06

著录项目信息

申请日

2015-01-08

申请人

济南慧易达商务服务有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_24

IPC 分类号

C23C14_24 , C25D11_04 , C23F17_00 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体制造, 集成电路, 电子器件

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摘要

本发明公开了一种阻挡元素扩散的中间层及其制备方法。该中间层采用真空蒸镀和阳极氧化法技术，在基材上形成多孔型阳极氧化膜，具体为：首先通过真空蒸镀技术，在基材上沉积铝层；再通过阳极氧化法，制备出多孔型阳极氧化铝膜。本发明制备的扩散阻挡层，与基体结合较好，涂层均匀，表现出良好的抑止高温下元素扩散的性能，工艺简单且重复性好，可大面积制备。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20231003

?? 专利权的转移：

20170808

✅ 授权

20150610

?? 实质审查的生效：

20150513

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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