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摘 要:本发明涉及一种具有多指栅极高电子迁移率晶体管器件,属于半导体射频器件技术领域。该InP高电子迁移率晶体管器件结构包括金属源极、金属漏极、金属多指形栅极、金属背栅、In0.53Ga0.47As盖帽层、In0.52Al0.48As肖特基势垒层、In0.52Al0.48As间隔层、In0.7Ga0.3As沟道层、In0.52Al0.48As缓冲层、InP衬底。该器件结构特点在于:使用了多指形栅和背栅作为栅极,并在In0.52Al0.48As肖特基势垒层和In0.7Ga0.3As沟道层引入了两层δ掺杂,减小了栅极的寄生参数,并减弱因缩小栅极尺寸而引起的短沟道效应。本发明在保证器件的正向导通性能不改变的前提下,通过减小栅极寄生参数和引入δ掺杂,能够有效地提高器件的截止频率和最大振荡频率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011409291.1 | 专利名称: | 一种具有多指栅极高电子迁移率晶体管器件 |
申请日: | 2020-12-04 | 申请/专利权人 | 重庆邮电大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 重庆市南岸区黄桷垭崇文路2号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L29/778搜分类 电子 器件搜索 |
公开/公告日: | 2021-02-26 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112420830A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/07/15 | 授权 | |
2021/03/16 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 29/778 专利申请号: 202011409291.1 申请日: 2020.12.04 |
2021/02/26 | 公开 |