一种晶圆盒

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摘     要：本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种晶圆盒，包括箱体和箱盖，所述箱体和箱盖活动连接，所述箱盖的内部设有加热腔，所述加热腔通过进气阀连接外部换气设备。该晶圆盒及充气系统，通过较热的新气将旧气压出，由于新旧气的温度不同，密度也不相同，自然形成分层，减少新旧气的对流和混合，注入等体积的新气即可完成旧气的替换，且替换效果更好，通过检测排气阀的排气温度或箱体的底部温度即可了解是否完成替换，更加直观明了，另一方面，新气为温度较高洁净气体，而旧气温度较低，新旧气相遇不会出现因为温度变化而产生的液化现象，托举槽设置的斜面使晶圆朝着一个方向倾斜，盖上箱盖时也不用刻意对准。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2023/12/12	授权
  2023/12/05	专利申请权的转移	登记生效日: 2023.11.20 申请人由陈叶源变更为蔚蓝计划（北京）科技有限公司 地址由537100 广西壮族自治区贵港市桂平市厚禄乡延寿村田窦西村屯145号变更为101319 北京市顺义区复兴四街3号院4号楼1至8层101内4层408室
  2020/06/26	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 21/677 专利申请号: 201911078941.6 申请日: 2019.11.07
  2020/06/02	公开