发明专利已授权

一种镍锌氧化合物光电薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN201811444407.8 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2018-11-29

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_46

IPC 分类号

技术画像

所属领域

化合物化合物

应用场景

光电探测器, 太阳能电池, 光电器件, 传感器, 透明导电电极

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摘要

本发明涉及一种镍锌氧化合物光电薄膜及其制备方法，借助双阴极辉光等离子放电作用在Ni基体表面溅射沉积锌氧化合物薄膜，将基体用丙酮进行超声清洗，之后将预处理好的基体放入等离子体炉内的试样台上完成样品表面锌氧化合物薄膜的制备。本发明以高纯金属元素为靶材，为了提高元素反应的供应量和供应效率，在基片和靶材周围形成双层辉光等离子放电，成膜仅需要10‑30min。本发明通过元素的溅射反应形成大面积高质量的复合透明薄膜电极，薄膜的厚度在5‑10微米。本发明得到的薄膜表面质量高，且制备方法已较为成熟，成本低，无污染，工艺流程较为简单，对基体本身的性能几乎无影响，不会损伤基体。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种人工局域表面等离激元电磁同频谐振器

当前第 / 件

一种环境工程用雾霾消除装置

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_46)

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：7 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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