发明专利已授权

垂直磁各向异性磁记录薄膜的制备方法

📄 申请号：CN201810888540.6 📄 发布日：2026/05/12

著录项目信息

申请日

2018-08-07

公开号

CN109097737A

公开日

2018-12-28

申请人

泉州凯华新材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_08

IPC 分类号

C23C14_08 , C23C14_16 , C23C14_18 , C23C14_35 , G11B5_851 ,

技术画像

所属领域

磁记录薄膜磁记录材料磁性薄膜薄膜制备工艺磁记录薄膜

应用场景

数据存储, 硬盘制造, 磁记录介质, 磁传感器

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摘要

本发明提供了一种垂直磁各向异性磁记录薄膜的制备方法，包括如下步骤：准备玻璃基片；在玻璃基片表面镀敷MnO层；在MnO层上镀敷第一MnGa层；在第一MnGa层上镀敷第一Pt层；在第一Pt层上镀敷第一FePt层；在第一FePt层上镀敷第二MnGa层；在第二MnGa层上镀敷FeCo层；在FeCo层上镀敷第二FePt层；以及在第二FePt层上镀敷Cr层。本发明的磁记录薄膜对于制备工艺要求不严格。同时，本发明的磁记录薄膜的矫顽力适当的大，使得本发明的材料能够切实抵抗外界干扰。此外，本发明的剩磁较大，矩形比较高，使得本发明的磁记录薄膜有望成为一种性能优良的磁记录材料。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200515

✅ 授权

20190122

?? 实质审查的生效：

20181228

📄 公开

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