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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201810491383.5 | 专利名称: | 一种晶圆离子注入方法 |
申请日: | 2018-05-21 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明属于半导体加工技术领域,具体的说是一种晶圆离子注入方法,本方法采用的刻蚀装置,包括移动模块、抓取模块、一号反应槽、二号反应槽、三号反应槽和储料筒,反应仓内壁底表面固定安装有一号反应槽、二号反应槽和三号反应槽;移动模块固定安装在反应仓内壁的侧表面顶部;抓取模块安装在移动模块上,储料筒用于存放晶圆;抓取模块用于对储料筒进行抓取;储料筒从进料门输送至反应仓中;移动模块通过与抓取模块配合将储料筒中的晶圆,依次放入三号反应槽、二号反应槽和一号反应槽中刻蚀;本发明主要用于对晶圆进行刻蚀,能够提高刻蚀液的使用效率,能够对晶圆进行批量化刻蚀,提高了刻蚀效率。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2020/12/15 | 授权 | |
2020/12/15 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2020.12.02 申请人由陈涛变更为徐丹 地址由214432 江苏省无锡市江阴市澄江东路99号江阴长江电子实业有限公司变更为318000 浙江省台州市椒江区东门路95号 |
2018/11/30 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/67 专利申请号: 201810491383.5 申请日: 2018.05.21 |