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摘 要:本实用新型提供了一种PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置,涉及新能源技术领域,包括收片盒、和放置装置,放置装置包括有U形槽、升降板和液压升降机,U形槽内嵌入设置有升降板,升降板的底部表面中央焊接设置有液压升降机,U形槽的左侧表面外部贯穿设置有进气管,U形槽的内侧表面中央嵌入设置有倾斜管,升降板的上表面中央焊接设置有定位块,收片盒包括有倾斜底板、海绵层和贯穿槽。本实用新型通过倾斜管的设置使得气管中的气体通过进气管进入到倾斜管从倾斜管吹出,气体吹出使得硅片从自动上下料机上的轨道上滑落时减轻硅片对收纳盒内部表面的撞击力,且使得硅片与硅片之间不易发生摩擦,从而导致出现划痕。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201921585303.9 | 专利名称: | 一种PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置 |
申请日: | 2019-09-23 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/677搜分类 半导体 放置装置搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 1800.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2020/10/30 | 授权 |