实用新型已授权

一种PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置

📄 申请号：CN201921585303.9 📄 发布日：2026/04/09

著录项目信息

申请日

2019-09-23

公开号

CN211828711U

公开日

2020-10-30

申请人

杨敏

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_677

IPC 分类号

H01L21_677 , H01L21_673 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备自动化上下料装置硅片传输装置

应用场景

光伏电池制造, 半导体晶圆加工, PECVD镀膜工艺, 硅片自动上下料, 晶圆传输

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摘要

本实用新型提供了一种PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置，涉及新能源技术领域，包括收片盒、和放置装置，放置装置包括有U形槽、升降板和液压升降机，U形槽内嵌入设置有升降板，升降板的底部表面中央焊接设置有液压升降机，U形槽的左侧表面外部贯穿设置有进气管，U形槽的内侧表面中央嵌入设置有倾斜管，升降板的上表面中央焊接设置有定位块，收片盒包括有倾斜底板、海绵层和贯穿槽。本实用新型通过倾斜管的设置使得气管中的气体通过进气管进入到倾斜管从倾斜管吹出，气体吹出使得硅片从自动上下料机上的轨道上滑落时减轻硅片对收纳盒内部表面的撞击力，且使得硅片与硅片之间不易发生摩擦，从而导致出现划痕。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20201030

✅ 授权

一种能够同步固定的窗帘支架

当前第 / 件

一种用于化妆品生产的研磨设备

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