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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202421190238.0 | 专利名称: | 一种石英舟翻转机构 |
申请日: | 2024-05-29 | 申请/专利权人 | 连云港亮迪石英科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省连云港市东海县驼峰乡311省道北侧连云港波德利实业有限公司院内东西两栋三层楼房 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H01L21/677 分类检索 |
公开/公告日: | 2025-04-08 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN222734960U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 5 | 所属领域: | 半导体制造设备 自动化机械装置专利转让搜索 |
应用场景:用于光伏或半导体生产过程中的石英舟自动翻转操作,解决传统人工翻转效率低、易污染的问题;适用于高温工艺后的石英舟快速冷却及定向转移场景。
摘 要:本实用新型的一种石英舟翻转机构,包括翻转机构底座,在翻转机构上转动安装有支撑柱,在支撑柱的顶面上固定安装有支撑台,在支撑台的顶面上安装有水平移动滑台,在水平移动滑台的顶面上设置有对石英舟限位机构,还设置有伸缩机构,还设置有旋转机构,旋转机构包括旋转动力机构,在旋转动力机构的动力输出端上固定安装有主动齿轮,在支撑柱的中部外周面上固定设有从动齿轮。该石英舟翻转机构可对石英舟进行水平翻转,一方面可供石英舟在被工厂风吹扫时,分别从两个方向对石英舟进行吹扫,并且在通过机械手将硅片插入石英舟上时,旋转机构可驱动石英舟水平旋转180°,致使石英舟的右侧未插片区域位于机械手上一工位的正下方,提升了插片作业效率。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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