一种半导体刻蚀清理装置

摘     要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，且公开了一种半导体刻蚀清理装置，包括腔体和分子泵，所述腔体的底端固定连接有分子泵，分子泵的前端安装有U型管，且U型管的上端与腔体的底端固定连接，所述U型管的中间位置下端安装有清理装置，且清理装置的内侧滑动套接有排气管。该种半导体刻蚀清理装置，在聚合物通过腔体下端的落料孔，掉落至U型管内，然后落入滤网上方，一些体积较大的聚合物被留在了滤网上方，即可手握清理装置向上滑动，清理棒跟随向上运动，其顶端伸出滤网表面，则清理棒侧面的吸料孔开始吸收滤网表面的聚合物，当吸收掉滤网上方的聚合物后，即可拉动清理装置向下移动，恢复原位置，完成清理工作。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注