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| 专利/申请号： | CN201810933360.5 | 专利名称： | 一种质量厚度为500-1000μg/cm2自支撑镓薄膜及其制备方法 |
| 申请日： | 2018-08-16 | 申请/专利权人 | 苏州龙昌电子材料有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省苏州市相城区太平兴太路28号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | C23C14/32分类检索 塑料专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2022-11-22 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN217867256U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明公开了一种大尺度自支撑镓薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底表面沉积氯化钾脱模剂；（2）采用90度磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统在衬底表面沉积氧化镁缓冲薄膜；（3）将样品旋转180°，采用直管磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统再次沉积镓薄膜；（4）将得到的衬底放入盛有乙醇溶液的容器中进行脱模处理；（5）用打捞板将镓薄膜捞起，得到质量厚度为500-1000μg/cm2自支撑镓薄膜。采用本发明可以制备出质量厚度为500-1000μg/cm2、具有低应力、均匀且致密的自支撑镓薄膜，且工艺简单。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2021/10/22 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2021.10.09 专利权人由固镇科安创蚌信息科技有限公司变更为泰安中全信息技术有限公司 地址由233700 安徽省蚌埠市固镇县城关镇翠湖花园北门牛市西巷9号变更为271000 山东省泰安市高新区南天门大街中段高端人才创业基地 |
| 2020/06/19 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2020.06.02 专利权人由广州本康环保科技有限公司变更为固镇科安创蚌信息科技有限公司 地址由510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学大道72号C2栋首层、二层、三层绿地国际创客中心办公卡位A176变更为233700 安徽省蚌埠市固镇县城关镇翠湖花园北门牛市西巷9号 |
| 2020/04/24 | 授权 | |
| 2019/01/18 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/32 专利申请号: 201810933360.5 申请日: 2018.08.16 |
| 2018/12/25 | 公开 |
