发明专利已授权

一种基于面积规划的动态焦斑阵列飞秒激光并行加工方法

Name: 一种基于面积规划的动态焦斑阵列飞秒激光并行加工方法
Brand: 南昌大学
SKU: 2023100338816
Availability: InStock

📄 申请号：CN202310033881.6 📄 发布日：2026/10/30

著录项目信息

申请日

2023-01-10

公开号

CN116060756B

公开日

2025-05-23

申请人

南昌大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_00

IPC 分类号

B23K26_00 , G06T7_136 , G06T7_11 , G06V10_762 ,

技术画像

所属领域

飞秒激光加工飞秒激光加工光学焦斑阵列调控并行激光制造

应用场景

精密加工, 微纳制造, 激光制造, 半导体加工, 材料表面处理

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摘要

本发明提供了一种基于面积规划的动态焦斑阵列飞秒激光并行加工方法，步骤1：把所需加工的图案变为二值化图像；步骤2：将待加工图像分割成m个待加工子区域；步骤3：获得焦斑点阵图序列；步骤4：获得对应的计算全息图序列；步骤5：计算出计算全息图序列中每幅计算全息图在空间光调制器上的加载时间，并根据加载时间将计算全息图序列制作成视频流，并加载到空间光调制器上；步骤6：形成焦斑阵列的动态序列，在材料内部或表面形成所需加工的图案。本发明通过对待加工区域进行面积规划，将待加工区域划分为所需加工点扫描数量一致的多个区域，然后对所有区域进行动态焦斑生成与扫描，实现复杂图案的均匀化并行加工。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN116060756B

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该专利的转让价格是多少？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种呋喃醇重排-氢解制环戊烯酮类物质的方法

当前第 / 件

基于图像分割和面积规划的并行加工复杂微纳结构方法

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