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本发明公开了一种飞秒激光加工装置，沿激光的光路方向依次包括飞秒激光装置、水平光路装置、竖直光路装置、激光加工设备和加工平台；通过使用飞秒激光装置降低了激光的光斑直径，通过设置在水平光路装置内的探头和激光加工设备内的微型摄像头，使得激光光束以及样品的状态得以实时观测，通过设置在水平光路装置内的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜，使得水平光路装置内位于各个反射镜之间的装置得以进行合理设置，加工装置的结构更为紧凑，通过在加工平台上设置X、Y、Z三个方向的滑动平台，使得加工平台在加工过程中可移动并进行调节。

本发明公开了一种飞秒激光加工光路系统，沿激光光路依次包括飞秒激光装置、水平光路装置、竖直光路装置和激光加工设备；通过使用飞秒激光装置降低了激光的光斑直径，通过在水平光路装置内设置探头，在激光加工设备内设置微型摄像头，使得激光光束以及样品的实时状态得以观测，通过在水平光路装置内设置第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜，使得水平光路装置内位于各个反射镜之间的装置得以进行合理设置，加工装置的结构更为紧凑。

本发明公开了一种基于飞秒激光加工的可调式打孔结构，涉及打孔设备技术领域，包括机床，安装于机床侧端的机台，滑动分布于机台侧面的飞秒激光机头，机床的内部上方设置有支撑机构；机床的内部下方设置有清洁机构；支撑机构的侧端设置有驱动机构。本发明公开的打孔结构，通过设置有若干个单独存在的架板，随着激光机头的水平移动，发生相对应的下移，减小了机头打孔时，架板底部和工件接触面积对打孔效率的影响，架板下移的同时，又会带动一个抽气排发生相对应的移动，从而实现飞秒激光机头移动到哪，哪的架板下移，同时抽气排同步移动到该处，将打孔产生的金属粉尘、污气等抽走，保证操作人员的人身安全，提高设备的完善性。

本发明公开了一种二维亚微米蝶形金属微结构的飞秒激光直写制备方法，技术方案包括以下步骤：第一步，金属靶样品材料的抛光和安装；第二步，可变延迟时间的线偏振和角向偏振双脉冲飞秒激光的获取；第三步，双脉冲飞秒激光的点聚焦；第四步，金属靶样品材料位置的调节；第五步，物镜焦点位置的确定；第六步，金属靶样品材料表面的调整；第七步，二维亚微米蝶形金属微结构的制备；本发明通过巧妙利用微纳米加工平台的分光方法形成两个同色共线传输、时间延迟可调的线偏振和角向偏振飞秒激光脉冲，采用物镜点聚焦方式，方便快速地在金属表面直写制备出条纹方向弯曲的二维亚微米蝶形金属微结构。