本发明公开了一种飞秒激光加工装置，沿激光的光路方向依次包括飞秒激光装置、水平光路装置、竖直光路装置、激光加工设备和加工平台；通过使用飞秒激光装置降低了激光的光斑直径，通过设置在水平光路装置内的探头和激光加工设备内的微型摄像头，使得激光光束以及样品的状态得以实时观测，通过设置在水平光路装置内的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜，使得水平光路装置内位于各个反射镜之间的装置得以进行合理设置，加工装置的结构更为紧凑，通过在加工平台上设置X、Y、Z三个方向的滑动平台，使得加工平台在加工过程中可移动并进行调节。
📄 2016109487498
📂 B23K26_06
👤 莆田学院
📅 2016-11-02
本发明公开了一种飞秒激光加工光路系统，沿激光光路依次包括飞秒激光装置、水平光路装置、竖直光路装置和激光加工设备；通过使用飞秒激光装置降低了激光的光斑直径，通过在水平光路装置内设置探头，在激光加工设备内设置微型摄像头，使得激光光束以及样品的实时状态得以观测，通过在水平光路装置内设置第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜，使得水平光路装置内位于各个反射镜之间的装置得以进行合理设置，加工装置的结构更为紧凑。
📄 2016109488645
📂 G02B26_12
👤 莆田学院
📅 2016-11-02
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