实用新型已授权

一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备

Name: 一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备
Brand: 昆山泓电隆泰电子材料有限公司
SKU: 2021224803303
Availability: InStock

📄 申请号：CN202122480330.3 📄 发布日：2026/09/20

著录项目信息

申请日

2021-10-14

公开号

CN216192662U

公开日

2022-04-05

申请人

昆山泓电隆泰电子材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_24

IPC 分类号

C23C14_24 , C23C14_14 , C23C14_56 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

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摘要

本实用新型公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括底板，所述底板的顶端安装有蒸镀箱，且所述蒸镀箱一侧的外壁上安装有真空泵，所述蒸镀箱一侧的外壁上安装有气泵，且所述气泵的输出端安装有主气管，所述底板顶端的一侧安装有控制箱，所述蒸镀箱的底部安装有蒸发源，所述蒸镀箱的内壁上滑动安装有挡板，所述蒸镀箱的顶部安装有加热器，所述蒸镀箱一侧的内壁上安装有基板，所述蒸镀箱的两内侧壁上皆安装有膜厚计，所述蒸镀箱一侧的内壁上固定有固定板。本实用新型不仅避免源材料蒸镀厚度不均的现象，提高金属薄膜的蒸镀良品率，还提升金属薄膜的蒸镀效率，减少金属薄膜在蒸镀过程中出现褶皱的现象。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN216192662U

购买这项专利需要经过哪些流程？

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种电容器金属化薄膜加工用整平机

当前第 / 件

一种电容器金属化薄膜加工用缺陷裁切装置

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_24)

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