发明专利 已授权

一种光电器件加工用金属蒸镀设备

📄 申请号:CN202311469280.6 📄 发布日:2026/09/17

著录项目信息

申请日
2023-11-07
公开号
CN117488249B
公开日
2025-07-04
申请人
马鞍山迈迪光电科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光电器件制造, 半导体制造, 显示面板制造, OLED器件制备, 薄膜沉积

摘要

本申请涉及蒸镀设备技术领域,公开了一种光电器件加工用金属蒸镀设备,包括蒸发源结构,所述蒸发源结构包括坩埚,坩埚的内侧壁有一部分设有加热板或加热丝,所述坩埚内设有隔板,所述隔板固定连接有固定构件,所述隔板通过弹性片连接有滑动板,所述滑动板的中部设有连接罩,所述滑动板连接有喷头,所述喷头穿过固定构件并与固定构件固定连接。利用隔板将坩埚内分割成多个小腔体,将液体分散,减少液体回流时撞击隔板的冲击力,喷头位于滑动板中心,其次,在膨胀时受力均匀,降低喷头方向偏移的风险,同时,由于的隔板位置相对固定,利用隔板为锚定位置,保证在膨胀或收缩时的中心位置不变,进而保证喷头位置不变。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN117488249B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:11 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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