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发明专利
已授权
一种制备氮碳化物复合涂层的工艺方法(需要二次变更)
📄 申请号:CN201710957195.2
📄 发布日:2026/09/03
著录项目信息
申请日
2017-10-16
公开号
CN107858646A
公开日
2018-03-30
申请人
常州大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_06
IPC 分类号
C23C14_06
,
C23C14_02
,
C23C14_35
,
C23C14_58
,
技术画像
所属领域
表面涂层技术
表面涂层技术
硬质涂层
复合材料
应用场景
刀具涂层, 模具涂层, 耐磨部件, 表面防护, 机械零部件
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摘要
本发明属于金属表面处理技术领域,尤其涉及一种制备氮碳化物复合涂层的工艺方法:基体的活化后,开启Cr靶电源,利用磁控溅射技术在基体表面沉积Cr过渡层,再通入氮气和氩气的混合气体,并利用磁控溅射技术在Cr过渡层表面沉积CrN层;停止混合气体的通入并切断Cr靶的电源,然后通入氩气、甲烷的混合气体,利用等离子体反应技术使CrN层表层原位转化为CrC层。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20200707
✅ 授权
20180424
?? 实质审查的生效 :
20180330
📄 公开
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