发明专利已授权

用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置

📄 申请号：CN202010704462.7 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2020-07-21

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_455

IPC 分类号

C23C16_455 , C23C16_02 ,

技术画像

所属领域

加热装置镀膜设备均匀加热技术抗弛豫镀膜工艺加热装置

应用场景

原子气室镀膜制备, 量子精密测量, 原子钟, 原子磁力仪, 量子传感

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摘要

本发明公开了用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置。现有装置很难保证气室所在环境中温度的均一性。本发明包括支架、翻转机构和传动机构。翻转机构包括外环翻转机构和内环翻转机构。外环翻转机构的外翻转环通过翻转电机带动翻转。翻转电机通过绕动直齿轮、锥形齿轮组带动内环翻转机构的内翻转环相对外翻转环进行翻转。翻转电机带动绕动直齿轮自转，同时绕动直齿轮沿固定直齿轮边沿公转。使用中将碱金属原子气室固定安装在内翻转环上，整体结构置于加热炉中。本发明通过两次齿轮连接，保证内外的两个翻转环相互垂直交错翻转，可以在镀膜气室加热时候提供均匀受热的环境，实现抗弛豫膜的均匀涂覆，保证碱金属原子气室的成膜质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

一种柔性变角度阵列衍射光学微结构及其履带式运动方法

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议价

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