发明专利已授权

一种柔性变角度阵列衍射光学微结构及其履带式运动方法

📄 申请号：CN201710998312.X 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2017-10-20

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B27_48

IPC 分类号

G02B27_48 , G02B26_08 ,

技术画像

所属领域

衍射光学衍射光学微纳光学光学微驱动器

应用场景

激光雷达, 光通信, 增强现实显示, 光束扫描, 精密光学调控

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摘要

一种柔性变角度阵列衍射光学微结构，所述微结构制作在柔性材料上，由N组一维二元衍射光学微结构首尾组成，所述柔性变角度阵列衍射光学微结构弯折并首尾相连形成履带式结构，所述弯折后的柔性变角度阵列衍射光学微结构作为一个整体的衍射光学器件，它包括前后两层，每一层包含(N/2)组一维二元衍射光学微结构；所述一维二元衍射光学微结构包括光栅结构和光学微结构，所述一维是指衍射光学微结构为一维图案、所述二元是指因衍射光学微结构深度所形成的光程差是二值化的。以及提供一种柔性变角度阵列衍射光学微结构的履带式运动方法。本发明全波段散斑抑制效果好、运动方式简单、易于实现、且系统通用性、鲁棒性好、成本低廉。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置

当前第 / 件

一种新型涂布机构

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