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用于高压氢环境中的薄膜应变片

📄 申请号：CN202011238389.5 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2020-11-09

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_14 , C23C14_06 , C23C14_08 , C23C14_04 , G01B7_16 , G01L1_22 ,

技术画像

所属领域

传感器技术传感器技术薄膜应变片压力测量

应用场景

高压氢环境监测, 氢能源设备, 压力传感, 工业安全监测

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摘要

本发明公开了一种用于高压氢环境中的薄膜应变片，包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层；基底采用316L不锈钢材料制成，过渡缓冲层为CrMo膜，绝缘层为AlN‑Al2O3双层膜。本发明具有高压氢环境中，薄膜应变片可以牢固地固定于试样上，相互之间连接呈无机质化，因而消除了零点漂移和蠕变，实现了温度自补偿，从而提高了应变片的灵敏度和测量结果的准确性的特点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种骨磨削装置

当前第 / 件

一种基于字符消息队列的非侵入式负荷识别方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：23 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

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