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发明专利
已授权
一种便携式变温样品台装置
📄 申请号:CN202010556472.0
📄 发布日:2026/08/04
著录项目信息
申请日
2020-06-17
公开号
CN111501002A
公开日
2020-08-07
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_50
IPC 分类号
C23C14_50
,
C23C14_54
,
技术画像
所属领域
温度控制装置
温度控制装置
实验仪器
样品承载设备
应用场景
实验室检测, 材料性能测试, 科研教学, 现场检测
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摘要
本发明公开了一种便携式变温样品台装置,包括样品台腔体、设置在样品台腔体顶部样品台上底面及设置在样品台腔体底部的样品台下底面,所述样品台腔体内部在位于样品台下底面内侧贴合设置温度调节装置,所述样品台腔体内部在位于温度调节装置上方设有冷却装置,所述样品台上底面顶部设有样品台固定装置,并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定,所述样品台下底面底部设有样品紧固装置,并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。本发明的有益效果是:该装置设计巧妙,结构合理,使用方便,运用本装置为样品进行温度调节,方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求,扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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