发明专利已授权

一种核壳结构n二氧化钛

📄 申请号：CN201710482083.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-06-22

公开号

CN107313017A

公开日

2017-11-03

申请人

陕西科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_08 ,

技术画像

所属领域

纳米材料纳米材料复合材料无机氧化物材料

应用场景

光催化, 环境净化, 涂料, 太阳能电池, 功能涂层

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摘要

本发明涉及一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜及其制备方法，先将干净的基片安装在磁控溅射仪的样品台，将CoTiO3靶和TiO2靶分别安装在磁控溅射仪的两个射频靶位上；对磁控溅射仪的溅射镀膜室抽真空再通入惰性气体，并使溅射镀膜室的气体压强保持在0.1Pa～2Pa；CoTiO3靶预溅射5～15min；将基片升温至300℃～600℃并保温，CoTiO3靶开始溅射30min～90min，得到CoTiO3有序纳米晶薄膜；调节CoTiO3有序纳米晶薄膜和TiO2靶材相互平行，TiO2靶材溅射10s～120s，得到核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜。本发明可有效地调控薄膜的形貌，成膜性好，操作方便，生产周期短，效率高，适于工业生产。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20190326

✅ 授权

20171128

?? 实质审查的生效：

20171103

📄 公开

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