发明专利 已授权

一种核壳结构n二氧化钛

📄 申请号:CN201710482083.6 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2017-06-22
公开号
CN107313017A
公开日
2017-11-03
申请人
陕西科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光催化, 环境净化, 涂料, 太阳能电池, 功能涂层

摘要

本发明涉及一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜及其制备方法,先将干净的基片安装在磁控溅射仪的样品台,将CoTiO3靶和TiO2靶分别安装在磁控溅射仪的两个射频靶位上;对磁控溅射仪的溅射镀膜室抽真空再通入惰性气体,并使溅射镀膜室的气体压强保持在0.1Pa~2Pa;CoTiO3靶预溅射5~15min;将基片升温至300℃~600℃并保温,CoTiO3靶开始溅射30min~90min,得到CoTiO3有序纳米晶薄膜;调节CoTiO3有序纳米晶薄膜和TiO2靶材相互平行,TiO2靶材溅射10s~120s,得到核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜。本发明可有效地调控薄膜的形貌,成膜性好,操作方便,生产周期短,效率高,适于工业生产。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20190326
✅ 授权
20171128
?? 实质审查的生效 :
20171103
📄 公开

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