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发明专利
已授权
一种金属表面的蜂巢结构多层膜及其制备方法
📄 申请号:CN202110816749.3
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2021-07-20
申请人
西安理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_02
IPC 分类号
C23C14_02
,
C23C14_06
,
C23C14_08
,
C23C14_16
,
C23C14_32
,
C23C14_35
,
C23F1_02
,
C23F4_00
,
技术画像
所属领域
蜂巢结构
表面涂层技术
多层膜材料
金属表面处理
蜂巢结构
应用场景
金属防腐蚀, 耐磨涂层, 功能装饰, 航空航天零部件, 模具制造
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摘要
本发明公开了一种金属表面的蜂巢结构多层膜及其制备方法。包括以下步骤:首先采用掩膜刻蚀的方法,在金属基体表面刻蚀出蜂巢骨架;其次利用薄膜沉积技术沿着基体表面蜂巢骨架内壁沉积多层膜,最后沉积一层使表面平整,得到蜂巢结构多层膜。这种蜂巢结构多层薄膜将层状结构的排列方向三维化,能够有效阻碍裂纹沿三个维度的扩展,提高了韧性;金属基体表面的蜂巢骨架有助于提高抗剪强度。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
N掺杂橙色荧光碳点的制备方法及其在Ag+检测的应用
当前第 / 件
超前瞄准与精跟踪二合一系统与光束指向方法
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