发明专利已授权

用于高温合金加工的Cr/CrN/NbN/NbXN稀土超晶格涂层及其制备方法

📄 申请号：CN202111370250.0 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-11-18

申请人

西华大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_34

IPC 分类号

C23C14_34 , C23C14_06 , C23C14_14 ,

技术画像

所属领域

超晶格涂层超硬涂层超晶格薄膜物理气相沉积镀膜超晶格涂层

应用场景

高温合金切削加工, 刀具涂层, 模具防护涂层, 耐磨表面处理, 航空航天零部件制造

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摘要

本发明提供了一种用于高温合金加工的Cr/CrN/NbN/NbXN稀土超晶格涂层及其制备方法，其制备方法，依次包括以下步骤：(1)调节真空度，通入氩气，在前处理后的基体表面沉积Cr过渡层，得Cr过渡层；(2)通入氮气，在Cr过渡层上沉积CrN过渡层，得CrN过渡层；(3)在Ar/N2气氛中交替沉积NbN和NbXN纳米层，沉积后自然冷却至室温，关闭电源和气体源，得用于高温合金加工的Cr/CrN/NbN/NbXN稀土超晶格涂层。本发明还包括上述方法制得的稀土超晶格涂层。本发明提高了涂层的硬度、结合力、高热稳定性、抗腐蚀性能及耐磨性，在保证切削质量的同时提高使用寿命。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种二氧化钛/双金属有机骨架化合物联合锌铝层状双氢氧化物的氧还原催化剂的制备方法注意：申请人在申请日后补交了实验数据，但该数据并未包含在本授权公告文档中。

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