摘要
本发明公开了一种具有导电耐蚀涂层的燃料电池金属极板及其制备方法,在真空条件下对金属基体进行等离子清洗;采用磁控溅射法,在等离子清洗后的金属基体上依次沉积纯钛层、氮化钛层和掺银氮化钛层;磁控溅射法为采用直流电源或射频电源周期性进行磁控溅射;将沉积有纯钛层、氮化钛层和掺银氮化钛层的金属基体作为燃料电池金属极板;本发明通过磁控溅射法周期性的在金属基体上依次沉积为等轴晶结构的导电耐蚀涂层,能够有效阻止燃料电池环境中的腐蚀介质与金属极板接触;并且有效延长了掺银氮化钛涂层中银自发逸出的路径,抑制了掺银氮化钛涂层中银的自发逸出;进而实现了通过金属极板替换石墨板,降低了PEMFC极板的厚度。