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一种高光热性能的纳米结构氮化钛涂层及制备方法

Name: 一种高光热性能的纳米结构氮化钛涂层及制备方法
Brand: 成都师范学院
SKU: 2022109735972
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210973597.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2022-08-15

公开号

CN115261790A

公开日

2022-11-01

申请人

成都师范学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_06

IPC 分类号

C23C14_06 , C23C14_35 , B82Y40_00 ,

技术画像

所属领域

纳米结构纳米材料表面涂层技术光热转换材料纳米结构

应用场景

太阳能光热利用, 海水淡化, 光热除冰, 工业干燥

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摘要

本发明公开了一种高光热性能的纳米结构氮化钛涂层及制备方法，包括以下步骤：步骤1：以金属钛作为靶材，将基片与靶材相对设置；基片与靶面两个面之间的夹角为45°～80°；步骤2：步骤2：通入氩气和氮气，采用高功率脉冲磁控溅射进行沉积，放电功率密度为1.0 W/cm2～4.5 W/cm2，峰值功率密度为200 W/cm2～350 W/cm2，沉积时间为30 s～60 s；步骤3：采用直流磁控溅射进行沉积，放电功率密度为3.5 W/cm2～5.0 W/cm2，沉积时间为15 min～25 min；溅射结束冷却后即可得到所需氮化钛涂层；本发明采用高功率脉冲磁控溅射和直流磁控溅射相结合，得到一种与基材结合力高、具有纳米棒结构，纳米棒排列结构紧密，顶端具有尖锐结构的氮化钛涂层；该涂层具有连续可调的光热性能。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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