发明专利 已授权

一种多孔高熵合金氧化物薄膜及其制备方法

📄 申请号:CN202011378989.1 📄 发布日:2026/06/30

著录项目信息

申请日
2020-11-30
公开号
CN112553576B
公开日
2022-09-30
申请人
江苏理工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

催化材料, 能源存储, 气体传感, 电化学电极

摘要

本发明属于高熵合金技术领域,具体涉及一种多孔高熵合金氧化物薄膜及其制备方法。本发明对CoCrFeMnNi靶材和Al靶材进行共溅镀,然后浸泡在脱合金溶液中进行脱合金处理,得到多孔高熵合金薄膜,最后再利用封管热处理,在表面得到多孔高熵合金氧化物薄膜。本发明制备的多孔高熵合金氧化物薄膜不仅孔隙均匀、硬度高、耐腐蚀,而且孔隙密度可以通过控制组元Al成分来调节,制备工艺简单,能大面积作业,生产效率高。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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