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发明专利
已授权
一种多孔高熵合金氧化物薄膜及其制备方法
📄 申请号:CN202011378989.1
📄 发布日:2026/06/30
著录项目信息
申请日
2020-11-30
公开号
CN112553576B
公开日
2022-09-30
申请人
江苏理工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_16
IPC 分类号
C23C14_16
,
C23C14_35
,
C23C14_58
,
技术画像
所属领域
高熵合金
高熵合金
氧化物薄膜
多孔材料
应用场景
催化材料, 能源存储, 气体传感, 电化学电极
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摘要
本发明属于高熵合金技术领域,具体涉及一种多孔高熵合金氧化物薄膜及其制备方法。本发明对CoCrFeMnNi靶材和Al靶材进行共溅镀,然后浸泡在脱合金溶液中进行脱合金处理,得到多孔高熵合金薄膜,最后再利用封管热处理,在表面得到多孔高熵合金氧化物薄膜。本发明制备的多孔高熵合金氧化物薄膜不仅孔隙均匀、硬度高、耐腐蚀,而且孔隙密度可以通过控制组元Al成分来调节,制备工艺简单,能大面积作业,生产效率高。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
胺基化木质素的一步简易合成方法及应用
当前第 / 件
一种TiV基多元复相合金及其制备方法
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