实用新型已授权

一种硅基荧光薄膜生产设备

📄 申请号：CN202420789633.4 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2024-04-17

公开号

CN222411819U

公开日

2025-01-28

申请人

金陵科技学院

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C16_46

IPC 分类号

C23C16_46 , C23C16_455 , C23C16_52 , C23C16_30 , C23C16_509 , H01J37_32 ,

技术画像

所属领域

薄膜生产设备薄膜制备设备真空镀膜设备硅基薄膜沉积膜生产设备薄膜生产设备

应用场景

荧光薄膜生产, 光电材料制造, 显示器件制备, LED照明, 半导体工艺设备

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摘要

本实用新型公开了一种硅基荧光薄膜生产设备，涉及硅基荧光薄膜生产技术领域。本实用新型包括框架，所述框架的上方安装有罐体，所述罐体的上方和下方分别设置有上极板和下极板，所述上极板和所述下极板之间组合后的空腔为生长腔，所述下极板处电性连接有加热结构，所述下极板的上方设置有多个位于所述生长腔内部的衬底。本实用新型的加热机构采用分区技术可以使得不同衬底区域独立加热，有利于优化生长过程中的温度分布，提高薄膜生长的均匀性和质量，且可以避免整体区域加热导致的能量浪费，只需针对需要加热的区域进行精确控制，有助于提高能源利用率，减少能源消耗，降低实验成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种可调节振动幅度的筋膜枪

当前第 / 件

一种具有竹钢组合结构骨架的装配式建筑墙体

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_46)

C23C16_00 C23C16_01 C23C16_02 C23C16_08 C23C16_18 C23C16_26 C23C16_27 C23C16_30 C23C16_34 C23C16_40 C23C16_44 C23C16_455 C23C16_458 C23C16_46 C23C16_48 C23C16_50 C23C16_505 C23C16_517 C23C16_54 C23C16_56 覆盖20个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：77 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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