发明专利已授权

一种碳化硅研磨表面残余应力预测方法及装置

📄 申请号：CN202510941051.2 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2025-07-09

公开号

CN120449516B

公开日

2025-09-09

申请人

华侨大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06F30_20

IPC 分类号

G06F30_20 , G06F30_10 , G06N5_04 , G06F119_14 ,

技术画像

所属领域

残余应力预测残余应力预测研磨加工表面工程

应用场景

半导体晶圆加工, 精密制造, 硬脆材料加工

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摘要

本申请提供的一种碳化硅研磨表面残余应力预测方法及装置，包括：获取碳化硅材料的力学响应数据，以构建碳化硅仿真模型；设置研磨参数，用以对碳化硅仿真模型进行研磨受力模拟，得到初步的表面残余应力预测结果；通过贝叶斯推断方法和蒙特卡洛方法，基于初步的表面残余应力预测结果和研磨参数，对碳化硅仿真模型的模型参数进行优化，得到最优模型参数；利用最优模型参数和研磨参数，对碳化硅仿真模型进行研磨受力模拟，得到优化的表面残余应力预测结果。利用基于贝叶斯推断方法和蒙特卡洛方法进行参数优化后的碳化硅仿真模型进行研磨受力模拟，得到优化的表面残余应力预测结果，实现对碳化硅进行研磨后的表面残余应力进行预测。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种应用电液复合缸的电动装载机分布式液压系统

当前第 / 件

适用于高原矿区的离网型综合能源系统配置方法及装置

同领域国内专利 · IPC: (G06F30_20)

G06F30_00 G06F30_10 G06F30_12 G06F30_13 G06F30_15 G06F30_17 G06F30_18 G06F30_20 G06F30_22 G06F30_23 G06F30_25 G06F30_27 G06F30_28 G06F30_30 G06F30_31 G06F30_32 G06F30_323 G06F30_327 G06F30_33 G06F30_3308 G06F30_331 G06F30_3315 G06F30_3323 G06F30_337 G06F30_34 G06F30_36 G06F30_367 G06F30_373 G06F30_39 G06F30_392 G06F30_394 G06F30_396 G06F30_398 覆盖33个领域

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