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本申请提供的一种碳化硅研磨表面残余应力预测方法及装置，包括：获取碳化硅材料的力学响应数据，以构建碳化硅仿真模型；设置研磨参数，用以对碳化硅仿真模型进行研磨受力模拟，得到初步的表面残余应力预测结果；通过贝叶斯推断方法和蒙特卡洛方法，基于初步的表面残余应力预测结果和研磨参数，对碳化硅仿真模型的模型参数进行优化，得到最优模型参数；利用最优模型参数和研磨参数，对碳化硅仿真模型进行研磨受力模拟，得到优化的表面残余应力预测结果。利用基于贝叶斯推断方法和蒙特卡洛方法进行参数优化后的碳化硅仿真模型进行研磨受力模拟，得到优化的表面残余应力预测结果，实现对碳化硅进行研磨后的表面残余应力进行预测。