发明专利已授权

一种自支撑柔性薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN202111319477.2 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2021-11-09

公开号

CN114086118B

公开日

2023-07-14

申请人

电子科技大学长三角研究院(湖州)

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_08

IPC 分类号

C23C14_08 , C23C14_34 , C23C14_35 ,

技术画像

所属领域

薄膜材料薄膜材料柔性功能材料自支撑薄膜

应用场景

柔性电子, 储能器件, 传感器, 膜分离, 生物医用材料

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摘要

本发明公开了一种自支撑柔性LaNiO3薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)制备Sr3Al2O6靶材；(2)制备LaNiO3靶材；(3)清洗并刻蚀SrTiO3基片；(4)将Sr3Al2O6靶材、LaNiO3靶材和处理后的SrTiO3基片一同放入脉冲激光沉积系统，接着依次在SrTiO3衬底上外延生长出Sr3Al2O6和LaNiO3单晶薄膜；(5)在薄膜表面悬涂一层PMMA并加热，接着溶解；(6)PMMA和LaNiO3薄膜漂浮在水面上后，用Si片将其打捞并烘干；(7)将样品去除PMMA，取出后烘干，制得产品。Sr3Al2O6作为牺牲层用来得到柔性导电的LaNiO3薄膜，其具有质量高，简单快捷的特点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种近各向同性新型光伏材料的预测方法

当前第 / 件

一种金属-氧空位双位点协同催化剂、制备方法及其应用

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_08)

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