发明专利已授权

有效提高研抛效率的微摆研抛装置

📄 申请号：CN201811006700.6 📄 发布日：2026/04/10

著录项目信息

申请日

2017-02-27

公开号

CN109048512B

公开日

2020-06-09

申请人

南通大学技术转移中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B3_60

IPC 分类号

B24B3_60 , B24B37_34 ,

技术画像

所属领域

精密加工精密加工机械加工设备研磨抛光技术

应用场景

精密零件加工, 光学元件加工, 半导体晶圆制造, 模具制造, 表面光整加工

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摘要

本发明公开了一种有效提高研抛效率的微摆研抛装置，包括底座、分度盘、刀尖圆弧大小调节部件、手动主轴部件、微摆幅部件、精密燕尾槽立式十字托板、微进给部件、刀具后角调节部件、刀夹部件、CCD摄像头部件，刀具安装在刀夹部件上。微摆幅部件中的压电陶瓷驱动器和微进给部件中的压电陶瓷驱动器通过导线与外部的压电陶瓷控制器相连。CCD摄像头通过数据线与外部计算机相连。本发明提供的微摆研抛装置，使圆弧刃金刚石刀具沿其理想刀尖圆弧轨迹在研磨盘上实现微摆研抛，以提高现有圆弧刃金刚石刀具研抛效率和研抛质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241231

⏳ 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更：

20221227

⏳ 专利实施许可合同备案的生效：

20210702

?? 专利权的转移：

20200609

✅ 授权

20190115

?? 实质审查的生效：

一种基于Gram-Charlier级数的OFDM信号频谱感知方法

当前第 / 件

提高研抛质量的微摆研抛装置

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