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发明专利
已授权
提高研抛质量的微摆研抛装置
📄 申请号:CN201811006717.1
📄 发布日:2026/04/10
著录项目信息
申请日
2017-02-27
公开号
CN109158961B
公开日
2020-06-09
申请人
南通大学技术转移中心有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
B24B1_04
IPC 分类号
B24B1_04
,
B24B3_36
,
B24B37_34
,
B24B49_12
,
技术画像
所属领域
精密加工技术
精密加工技术
研磨抛光技术
微动机构设计
应用场景
光学元件加工, 半导体晶圆抛光, 精密模具制造, 航空航天零部件加工, 医疗器械表面精整
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摘要
本发明公开了一种提高研抛质量的微摆研抛装置,包括底座、分度盘、刀尖圆弧大小调节部件、手动主轴部件、微摆幅部件、精密燕尾槽立式十字托板、微进给部件、刀具后角调节部件、刀夹部件、CCD摄像头部件,刀具安装在刀夹部件上。微摆幅部件中的压电陶瓷驱动器和微进给部件中的压电陶瓷驱动器通过导线与外部的压电陶瓷控制器相连。CCD摄像头通过数据线与外部计算机相连。本发明提供的微摆研抛装置,使圆弧刃金刚石刀具沿其理想刀尖圆弧轨迹在研磨盘上实现微摆研抛,以提高现有圆弧刃金刚石刀具研抛效率和研抛质量。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
有效提高研抛效率的微摆研抛装置
当前第 / 件
拓宽振动加工技术应用的微摆研抛装置
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