发明专利已授权

制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列

📄 申请号：CN201710579260.2 📄 发布日：2026/04/10

著录项目信息

申请日

2015-11-11

公开号

CN107557756A

公开日

2018-01-09

申请人

南通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_40

IPC 分类号

C23C16_40 , C23C16_455 , C23C16_52 , C30B25_14 , C30B25_16 , C30B29_22 ,

技术画像

所属领域

薄膜材料薄膜沉积技术功能氧化物薄膜材料制备工艺薄膜材料

应用场景

电子器件, 压电器件, 铁电器件, 传感器, 光电器件

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摘要

一种用于制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列，由铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲组成，所述气体脉冲序列通入真空反应腔中；化学吸附反应在真空反应腔中进行，铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲按照一定的次序依次通入真空反应腔中。通过采用本发明的制备BiGaO3薄膜材料的方法，可以实现BiGaO3薄膜生长厚度的精确可控，且BiGaO3薄膜表面平整度大大优于现有技术。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

铝灰渣除氮的反应装置及除氮系统

当前第 / 件

制备铝镓酸铋薄膜的气体脉冲序列

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