发明专利已授权

一种多层透明导电膜及其制备方法

📄 申请号：CN201810269246.7 📄 发布日：2026/07/15

著录项目信息

申请日

2018-03-29

公开号

CN108441833B

公开日

2020-05-15

申请人

南京邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_18 , C23C14_08 , C23C14_54 ,

技术画像

所属领域

透明导电膜透明导电膜导电薄膜薄膜制备

应用场景

触摸屏, 平板显示器, 太阳能电池, 智能窗, 柔性电子

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摘要

本发明提供了一种多层透明导电膜及其制备方法，在室温下采用磁控溅射方法制备，包括溅射准备、靶材预溅射、底层靶材射频溅射、中间Ag层直流溅射、顶层靶材射频溅射步骤，其中底层和底层采用射频磁控溅射方法制备，中间Ag层采用直流磁控溅射方法制备，且在溅射中间Ag层时，在溅射气体氩气中通入适量的氧气作为反应气体，并通过流量计控制氧气与氩气的流量比例，通入的氧气有效地改善了Ag纳米颗粒的生长过程，使得生长在底层上的Ag纳米颗粒井然有序且连续性佳，从而改善了Ag层的形貌，降低了Ag层对光的吸收；由上述方法制备的多层透明导电膜，表面电阻降低，导电性和透光性提高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种单绕组无轴承开关磁阻电机的控制方法

当前第 / 件

一种基于三联吡啶配体的多色发光凝胶及其制备方法与应用

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：42 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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